Estudio del estado del arte, modelamiento y simulación del MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) para el diseño de un prototipo orientado al Área de Automatización y Robótica - Santana Pérez, Andrea Carolina (2011)
Los Sistemas Micro-electro-mecánicos (MEMS) son dispositivos micrométricos que reúnen las capacidades computacionales, de comunicaciones y de control, e interactúan con el medio exterior. Las ventajas frente a otros dispositivos son el bajo costo, bajo consumo de energía, alto desempeño, confiabilidad, fácil adaptación e integración a sistemas actuales. Por lo tanto, se ha convertido en una de las áreas de más rápido crecimiento de la industria, generando un gran interés en el desarrollo de estos sistemas. El estudio del estado del arte de los MEMS inicia con la historia de evolución de esta tecnología, elementos constituyentes, arquitectura y, aspectos que describen la importancia científica y el valor económico de este campo de investigación. El rendimiento de los MEMS depende en gran medida de los materiales, los cuales deben poseer propiedades adecuadas para ser utilizadas en aplicaciones eléctricas, mecánicas, magnéticas, térmicas, ópticas o químicas de acuerdo a las especificaciones de diseño. En general, se usa el silicio como sustrato por sus excelentes propiedades físicas, mecánicas y capacidad para incorporar la funcionalidad electrónica. Sin embargo, se pueden utilizar un sin número de diferentes materiales como los compuestos de silicio, arseniuro de galio, cuarzo, polímeros, cerámicas. Además materiales con un alto potencial de aplicación en la actualidad tales como adhesivos, diamante y compuestos basados en carbono...