Simulaciones varias de actuadores MEMS capacitivos

En el presente trabajo de titulación se realizan simulaciones en el programa COMSOL Multifisica del estudio MEMS tipo cantiléver controlados por voltaje. Se estudia la deflexión los cantiléver, motivo por el cual se calcula diversos voltajes, como el voltaje Pull in, y se obtienen las gráficas de capacitancia y de voltaje. Se realiza el estudio de dos geometrías, la primera geometría con longitud de 150() del cantiléver que al aplicar un voltaje de 0V a 12V produjo una capacidad obteniendo una variación entre los valores de 1.471383632366-15(F) Capacitancia de Maxwell, que a su vez hizo que el cantiléver haga su deformación en la simulación, logramos obtener el voltaje Pull in, esto se da cuando las fuerzas eléctricas sobrepasan a las fuerzas mecánicas, lo más importante logramos realizar el desplazamiento visualizando el comportamiento del campo eléctrico, campo de desplazamiento del cantiléver, nuestra segunda geometría con dimensiones de 80(), aplicamos voltaje de 0V a 12V logramos obtener valores de capacidad 844.0054266026096e-18(F) Capacitancia de Maxwell valores menores de capacitancia referente nuestra primer geometría, surgieron cambios en la deformación ya que con dimensiones menores el cantiléver no llego al punto de contacto entre electrodos, dando como resultado un deformación incompleta, ya que entre más reducida son las dimensiones del cantiléver, menor es el desplazamiento.

• Hovedforfatter: Montoya Contreras, Carlos Ramiro (author)
• Andre forfattere: Franco Pérez, Anthony Israel (author)
• Format: bachelorThesis
• Sprog: spa
• Udgivet: 2023
• Fag: COMSOL; CANTILÉVER
• Online adgang: http://dspace.ups.edu.ec/handle/123456789/25004